アイテム詳細
商品説明
■特性 項 目 特性値 密 度 （kg/M3） 3.21×103 曲げ強度 （kgf/mm2） 80 引張り強度 （kgf/mm2） 60 ヤング率 （kgf/mm2） 50,000 硬 さ （kgf/mm2） HK:3,500 線膨張係数 （I/℃） 4.5×10−6 熱伝導率 （cal/cm・s・℃） 0.16 比抵抗 （Ω・m） 102 （※）室温での値 ■耐食性 雰囲気 温度(℃) 時間(h) 重量変化 6N HCI 沸点. （110） 1470 認められず 9N HNO3 沸点. （116） 19N H2SO4 沸点. （128） 弗硝酸 17%HF. 83%HNO3 室温 532 王水 80 186 大気中 1500 146 HCIガス 1200 25 ■不純物含有量 元 素 Cu K Mo Fe Cr Zn Mn W Na Co La Ag Hf Au Sc 濃度(単位：ppb) ＜100 ＜60 ＜40 35 26 9 9 ＜4 ＜2 1.3 0.8 0.8 0.32 ＜0.09 ＜0.01 【関連商品】ENGINEER（エンジニア） 精密ピンセット PTZ-02ENGINEER（エンジニア） 精密ピンセット クリーンパック (5個入) PTZ-02CENGINEER（エンジニア） ベークピンセット PTZ-40ENGINEER（エンジニア） ESDピンセット PTZ-41ENGINEER（エンジニア） ESDピンセット PTZ-42ENGINEER（エンジニア） PTZ-41用交換チップ (標準先細) PTZ-91ENGINEER（エンジニア） PTZ-42用交換チップ (先端丸型) PTZ-92 ◆お取寄せ商品となります。発送までに1〜2日かかる場合がございます。 メーカー様在庫状況によりお届け期間が前後する場合がございます。 入荷までお時間がかかる場合メールにてお知らせいたします。 エンジニア ウェハー用ピンセット(クリーンルーム) PTZ-01 超高純度CVD-SiC単体を先端ビットに使用したシリコンウェハー専用ハイテクピンセット 特 長 ●真空蒸着（CVD）法による不純物ppbレベルの 超高純度SiC（炭化ケイ素）を先端ビットに装着 した画期的な製法によるシリコンウェハー専用 ピンセット。 ●従来のステンレス製ピンセットの重大な欠点 であったシリコンウェハーへの重金属汚染が全 くありません。 ●耐薬品性と耐熱性に極めて優れ、弗硝酸等に よるウェハー洗浄工程での使用も可能です。 ●軽量（ρ＝3.8）、非磁性、耐摩耗性に優れる等 の特徴もあります。 ●ピンセット本体は、耐食性、非磁性、軽量等の 特性を備えたチタン合金製です。 全長150mm ●先端形状 A：11mm B：9mm C：2mm D：3.6mm E：2.4mm ●最大6インチウェハーまで保持できます。 ■クリーンパック PTZ-01は超純水による洗浄後、. クリーンパックされております。. （保証値 クラス100〜1000相当） ※S i C 単体は非常に脆いので、ご使用中だけでなく、保管・ 洗浄、運搬中における先端の保護にも充分ご注意下さい。 ※先端が破損した場合には、本体ごと返送下さい。先端のみの 取替えも可能です。
